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Aktuelle Kontaktadresse
| Land | Korea, Republik |
|---|---|
| Ort | Seoul |
| Universität/Institution | Seoul National University |
| Institut/Abteilung | School of Materials Sciences and Engineering |
Profil
| Fachgebiet | Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik |
|---|---|
| Keywords | FeRAM, step coverage, 3D structure, SrRuO3, Atomic layer deposition (ALD) |